Three-motors configuration for adjusting wafer tilt and focus

WO2022169442 Art A1 11. August 2022

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022169442
Aktenzeichen
EP21925033
Anmeldetag
2. Februar 2021
Veröffentlichung
11. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/24G01B9/02G01B11/06G01B11/30G01N21/95G01N21/956H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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