Vacuum pump exhaust system

WO2022171983 Art A1 18. August 2022

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022171983
Aktenzeichen
EP22704562
Anmeldetag
4. Februar 2022
Veröffentlichung
18. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
F04C25/02F04C29/04F04C29/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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