Mems element, optical scanning device, distance measuring device, and mems element manufacturing method

WO2022172372 Art A1 18. August 2022

Anmelder: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022172372
Aktenzeichen
EP21925625
Anmeldetag
10. Februar 2021
Veröffentlichung
18. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
B81B7/00B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Electric

Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.

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