Abrasive agent and abrading method

WO2022172438 Art A1 18. August 2022

Anmelder: RESONAC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022172438
Aktenzeichen
EP21925688
Anmeldetag
15. Februar 2021
Veröffentlichung
18. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14B24B37/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
RESONAC CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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