Pattern formation method, and method for producing electronic device

WO2022172715 Art A1 18. August 2022

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022172715
Aktenzeichen
EP22752546
Anmeldetag
20. Januar 2022
Veröffentlichung
18. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/00G03F7/004G03F7/039G03F7/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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