Resist underlayer film-forming composition containing polymer that has side chain blocked with aryl group

WO2022172917 Art A1 18. August 2022

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022172917
Aktenzeichen: EP22752740
Anmeldetag: 8. Februar 2022
Veröffentlichung: 18. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11G03F7/20C08G63/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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