Measurement device

WO2022173059 Art A1 18. August 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022173059
Aktenzeichen
EP22752881
Anmeldetag
15. Februar 2022
Veröffentlichung
18. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/03G01N21/3577G01N21/552G02B21/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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