Contaminant-detecting system and method

WO2022175019 Art A1 25. August 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022175019
Aktenzeichen: EP22701374
Anmeldetag: 21. Januar 2022
Veröffentlichung: 25. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G01N21/65G01N21/88G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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