Method for testing the stress robustness of a semiconductor substrate

WO2022175115 Art A1 25. August 2022

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022175115
Aktenzeichen
EP22706541
Anmeldetag
4. Februar 2022
Veröffentlichung
25. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SILTRONIC AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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