Curable composition for imprinting, cured product, imprinting pattern production method, and device manufacturing method

WO2022176778 Art A1 25. August 2022

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022176778
Aktenzeichen: EP22756098
Anmeldetag: 10. Februar 2022
Veröffentlichung: 25. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C08F2/44B29C59/02C08F2/50H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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