Automatic wafer processing method and automatic wafer processing apparatus

WO2022179011 Art A1 1. September 2022

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022179011
Aktenzeichen
EP21927443
Anmeldetag
24. Juni 2021
Veröffentlichung
1. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66H01L21/67G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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