Method to predict metrology offset of a semiconductor manufacturing process

WO2022179773 Art A1 1. September 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022179773
Aktenzeichen: EP22700981
Anmeldetag: 21. Januar 2022
Veröffentlichung: 1. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G03F7/20G05B19/418G06N20/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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