Vapor deposition source for vacuum deposition devices
WO2022181012
Art A1
1. September 2022
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022181012
- Aktenzeichen
- EP21928105
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 1. September 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.