Wafer detection system

WO2022181042 Art A1 1. September 2022

Anmelder: CKD CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022181042
Aktenzeichen: EP21928135
Anmeldetag: 27. Dezember 2021
Veröffentlichung: 1. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CKD CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 CKD

CKD ist ein japanischer Hersteller von Automatisierungs-, Pneumatik- und Verpackungstechnik mit Sitz in Komaki. Das Patentportfolio betrifft Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, insbesondere Ventile und Fördersysteme. Die Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2025.

262 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von