Methods, systems, and apparatus for conducting chucking operations using an adjusted chucking voltage if a process shift occurs

WO2022182443 Art A1 1. September 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022182443
Aktenzeichen: EP22760177
Anmeldetag: 19. Januar 2022
Veröffentlichung: 1. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/67H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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