Halogen-and aliphatic-containing organotin photoresists and methods thereof

WO2022182473 Art A1 1. September 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022182473
Aktenzeichen: EP22760185
Anmeldetag: 28. Januar 2022
Veröffentlichung: 1. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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