High throughput and metal contamination control oven for chamber component cleaning process

WO2022183013 Art A1 1. September 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022183013
Aktenzeichen: EP22760499
Anmeldetag: 25. Februar 2022
Veröffentlichung: 1. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: F26B21/14F26B3/04F26B9/06F26B21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

Vertreten von