Sensor calibration method and system based on lithography machine

WO2022183965 Art A1 9. September 2022

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022183965
Aktenzeichen: EP22762430
Anmeldetag: 24. Februar 2022
Veröffentlichung: 9. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B7/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TSINGHUA UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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