Gas injection subsystem for use in an inspection system to inspect a sample by use of charged particles and inspection system having such gas injection subsystem

WO2022184760 Art A1 9. September 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022184760
Aktenzeichen: EP22713326
Anmeldetag: 2. März 2022
Veröffentlichung: 9. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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