Method for detecting state of surface of raw material melt, method for producing monocrystal, and cz monocrystal production device

WO2022185789 Art A1 9. September 2022

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022185789
Aktenzeichen
EP22762848
Anmeldetag
26. Januar 2022
Veröffentlichung
9. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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