Pixel and region classification of film non-uniformity based on processing of substrate images

WO2022187079 Art A1 9. September 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022187079
Aktenzeichen: EP22763802
Anmeldetag: 24. Februar 2022
Veröffentlichung: 9. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/84G01N21/88G01B11/06G06T7/00G06T7/50G06T7/90H01L21/66G01N21/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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