Three-dimensional micro-nano morphological structure manufactured by laser direct writing lithography machine, and preparation method therefor
WO2022188562
Art A1
15. September 2022
Anmelder: SVG TECH GROUP CO., LTD, SOOCHOW UNIVERSITY 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022188562
- Aktenzeichen
- EP22766089
- Anmeldetag
- 19. Januar 2022
- Veröffentlichung
- 15. September 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SVG TECH GROUP CO., LTD
SOOCHOW UNIVERSITY - Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Soochow University
Soochow University ist eine staatliche Universität in Suzhou, China, mit breitem Fächerspektrum einschließlich Materialwissenschaft und Chemie.
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