Apparatus comprising an electrostatic clamp and method

WO2022189087 Art A1 15. September 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022189087
Aktenzeichen: EP22704386
Anmeldetag: 10. Februar 2022
Veröffentlichung: 15. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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