Inspection method, method for manufacturing actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and method for manufacturing electronic device

WO2022190705 Art A1 15. September 2022

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022190705
Aktenzeichen: EP22766672
Anmeldetag: 31. Januar 2022
Veröffentlichung: 15. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/26G03F7/32H01L21/66G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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