Thin film-forming starting material for use in atomic layer deposition method, thin film, method for producing thin film, and zinc compound

WO2022190877 Art A1 15. September 2022

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022190877
Aktenzeichen: EP22766837
Anmeldetag: 24. Februar 2022
Veröffentlichung: 15. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/40C07F3/06C07F5/00H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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