Method for manufacturing semiconductor substrate, composition, polymer, and method for producing polymer

WO2022191037 Art A1 15. September 2022

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022191037
Aktenzeichen
EP22766995
Anmeldetag
3. März 2022
Veröffentlichung
15. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C08G8/00C08G8/04C08G8/28G03F7/11G03F7/40H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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