Flood column and charged particleapparatus

WO2022194482 Art A1 22. September 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022194482
Aktenzeichen: EP22710965
Anmeldetag: 17. Februar 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/02H01J37/10H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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