Ultraviolet laser device and method for producing electronic device

WO2022195893 Art A1 22. September 2022

Anmelder: GIGAPHOTON INC., INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022195893
Aktenzeichen: EP21931638
Anmeldetag: 19. März 2021
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/28H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GIGAPHOTON INC.
INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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