Optical isolator, ultraviolet laser apparatus, and method for manufacturing electronic device

WO2022195895 Art A1 22. September 2022

Anmelder: GIGAPHOTON INC., INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022195895
Aktenzeichen
EP21931640
Anmeldetag
19. März 2021
Veröffentlichung
22. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G02B27/28H01S3/23
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
GIGAPHOTON INC.
INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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