Aln ceramic substrate, and heater for semiconductor manufacturing device

WO2022195947 Art A1 22. September 2022

Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022195947
Aktenzeichen
EP21931690
Anmeldetag
1. November 2021
Veröffentlichung
22. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H05B3/10H05B3/74
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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