Substrate coating apparatus and substrate coating method

WO2022196120 Art A1 22. September 2022

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022196120
Aktenzeichen: EP22770882
Anmeldetag: 27. Januar 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B05C9/10B05C11/00B05C11/10B05C13/00B05D1/26B05D3/00B05D7/00B05C5/02H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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