Pellicle, original plate for light exposure, light exposure device, method for producing pellicle, and method for producing semiconductor device

WO2022196182 Art A1 22. September 2022

Anmelder: MITSUI CHEMICALS, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022196182
Aktenzeichen: EP22770941
Anmeldetag: 7. Februar 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F7/20C01B32/159C01B32/168

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: MITSUI CHEMICALS, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

2.794 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

Vertreten von