Composition for forming resist underlayer film

WO2022196495 Art A1 22. September 2022

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022196495
Aktenzeichen
EP22771246
Anmeldetag
9. März 2022
Veröffentlichung
22. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C08G61/00G03F7/11H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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