Imaging dielectric spectroscopic method, device therefor, and shutter mechanism for electron beam

WO2022196677 Art A1 22. September 2022

Anmelder: RIKEN 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022196677
Aktenzeichen: EP22771422
Anmeldetag: 15. März 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03H5/00H01J37/147H01J37/22H01J37/26H01J37/295G01N23/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: RIKEN
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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