Electrostatic chuck, electrostatic chuck heater comprising same, and semiconductor maintaining device

WO2022197145 Art A1 22. September 2022

Anmelder: AMOSENSE CO., LTD 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022197145
Aktenzeichen: EP22771811
Anmeldetag: 18. März 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H02N13/00B23Q3/15H01L21/687H01L21/67H05B3/14H05B3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AMOSENSE CO., LTD
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Amosense

Amosense ist ein südkoreanischer Hersteller elektronischer Bauelemente mit Wurzeln im Samsung-Konzernumfeld. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik- und Energietechnik, ergänzt durch Telekommunikation. Die Anmeldungen von 2001 bis 2025 betreffen unter anderem piezoelektrische Bauelemente und Lautsprecher.

298 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von