Segmentation of design care areas with a rendered design image

WO2022197313 Art A1 22. September 2022

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022197313
Aktenzeichen
EP21931902
Anmeldetag
7. April 2021
Veröffentlichung
22. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01N21/95G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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