Segmentation of design care areas with a rendered design image
WO2022197313
Art A1
22. September 2022
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022197313
- Aktenzeichen
- EP21931902
- Anmeldetag
- 7. April 2021
- Veröffentlichung
- 22. September 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G01N21/95G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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