Laser-assisted metal-organic chemical vapor deposition devices and methods of use thereof for suppressing background carbon incorporation

WO2022197354 Art A1 22. September 2022

Anmelder: OHIO STATE INNOVATION FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022197354
Aktenzeichen: EP22771882
Anmeldetag: 17. Januar 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C07F9/00H01L21/285H01L27/108

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: OHIO STATE INNOVATION FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Ohio State Innovation Foundation

Non-Profit-Organisation der Ohio State University mit Sitz in Columbus, Ohio, zuständig für Patentverwertung und Technologietransfer aus der Forschung der Universität.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie

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