Methods, systems, and apparatus for optically monitoring individual lamps

WO2022197361 Art A1 22. September 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022197361
Aktenzeichen: EP22771886
Anmeldetag: 21. Januar 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67G01J1/02G01J1/04G01J1/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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