Maintenance of modules for light sources used in semiconductor photolithography

WO2022197415 Art A1 22. September 2022

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022197415
Aktenzeichen: EP22709522
Anmeldetag: 24. Februar 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G05B23/02G06N20/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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