Increased number of load ports on factory interface with robot that moves on track

WO2022197951 Art A1 22. September 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022197951
Aktenzeichen: EP22772222
Anmeldetag: 17. März 2022
Veröffentlichung: 22. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/67H01L21/687B25J5/02B25J9/16B25J9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von