Wafer sheet initial peeling generation method and semiconductor die pick-up device

WO2022201278 Art A1 29. September 2022

Anmelder: SHINKAWA LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022201278
Aktenzeichen
EP21931943
Anmeldetag
23. März 2021
Veröffentlichung
29. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHINKAWA LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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