Foreign matter inspection device and foreign matter inspection method

WO2022201910 Art A1 29. September 2022

Anmelder: HORIBA, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022201910
Aktenzeichen: EP22774711
Anmeldetag: 7. Februar 2022
Veröffentlichung: 29. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HORIBA, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Horiba

Horiba ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher und analytischer Messinstrumente. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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