Electrostatic Chuck

WO2022202147 Art A1 29. September 2022

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022202147
Aktenzeichen: EP22774944
Anmeldetag: 1. März 2022
Veröffentlichung: 29. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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