Refrigeration system, rotary union for a refrigeration system, vacuum chamber, substrate processing system and method for cooling a vacuum chamber

WO2022203677 Art A1 29. September 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022203677
Aktenzeichen: EP21933446
Anmeldetag: 26. März 2021
Veröffentlichung: 29. September 2022
Rechtsraum: WO
IPC: F25B41/40F25B1/00F16L33/18C23C14/54C23C14/56C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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