Hot Showerhead

WO2022203919 Art A1 29. September 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022203919
Aktenzeichen
EP22776341
Anmeldetag
16. März 2022
Veröffentlichung
29. September 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67C23C16/455H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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