Computer-Generiertes Hologramm (cgh) sowie Interferometrische Messanordnung zur Bestimmung der Oberflächenform eines Prüflings

WO2022207153 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022207153
Aktenzeichen: EP22703585
Anmeldetag: 27. Januar 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B9/02055G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von