On system self-diagnosis and self-calibration technique for charged particle beam systems

WO2022207222 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022207222
Aktenzeichen: EP22713350
Anmeldetag: 3. März 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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