Optical element, optical arrangement and insert component

WO2022207235 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022207235
Aktenzeichen: EP22710386
Anmeldetag: 4. März 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/08G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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