Plasma torch device component monitoring
WO2022208054
Art A1
6. Oktober 2022
Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022208054
- Aktenzeichen
- EP22713019
- Anmeldetag
- 23. März 2022
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EDWARDS LIMITED
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
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