Plasma torch device component monitoring

WO2022208082 Art A1 6. Oktober 2022

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022208082
Aktenzeichen: EP22714524
Anmeldetag: 30. März 2022
Veröffentlichung: 6. Oktober 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00H05H1/30H05H1/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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